[发明专利]一种微图案化的柔性触觉传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711120231.6 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107748024A | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 朱玲;房菲儿;张静;王威 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)44357 | 代理人： | 赵文曲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种微图案化的柔性触觉传感器及其制备方法，其中，微图案化的柔性触觉传感器包括若干个压力传感单元；压力传感单元由两片柔性且可伸缩的基板、相对设置于两片基板之间并分别与基板的内表面相连的两片电极，以及设置于两片电极之间的介电层组成；基板的内表面采用微图案处理设有荷叶微图案，基板材质为聚二甲硅氧烷；介电层由若干聚苯乙烯微球组成，介电层和电极与基板之间分别通过范德华力相贴合以实现封装；各压力传感单元利用等离子体处理机采用电极像素处理以形成呈设定面积的传感器阵列，本发明微图案化的柔性触觉传感器及其制备方法具有很好的稳定性和非常好的传感性能，成本低，可实现量化生产，且具有突出的弹性能力和超低的弹性模量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 柔性 触觉 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微图案化的柔性触觉传感器，其特征在于，包括若干个压力传感单元；所述压力传感单元由两片柔性且可伸缩的基板、相对设置于两片基板之间并分别与基板的内表面相连的两片电极，以及设置于两片电极之间的介电层组成；所述基板的内表面采用微图案处理设有荷叶微图案，所述基板材质为聚二甲硅氧烷；所述介电层由若干聚苯乙烯微球组成，所述介电层和电极与基板之间分别通过范德华力相贴合以实现封装；各压力传感单元利用等离子体处理机采用电极像素处理以形成呈设定面积的传感器阵列。
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