[发明专利]一种光学元器件厚度的测量装置有效
| 申请号： | 201711121508.7 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN107907058B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 卢平 | 申请（专利权）人： | 上饶市盛和光学有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 黄亮亮 |
| 地址： | 334000 江西省上饶市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学元器件厚度的测量装置，包括宽谱光源、电光调制器和计算器，宽谱光源输出端连接第一光纤耦合器，第一光纤耦合器的一个输出端与待测光学器件安装座连接，待测光学器件安装座的输出光和第一光纤耦合器的输出光经过第二光纤耦合器合束，第一光纤耦合器、待测光学器件安装座和第二光纤耦合器构成一个马赫曾德干涉仪，马赫曾德干涉仪的输出端连接电光调制器，电光调制器输出的调制信号经过色散光纤后入射到高速光电探测器上，本发明的测量灵敏度可达微米级，具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元器件 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种光学元器件厚度的测量装置，其特征在于，包括宽谱光源(101)、待测光学器件安装座(103)和计算器(202)，宽谱光源(101)输出端连接第一光纤耦合器(102)，第一光纤耦合器(102)的一个输出端与待测光学器件安装座(103)连接，待测光学器件安装座(103)的输出光和第一光纤耦合器(102)的输出光经过第二光纤耦合器(104)合束，第一光纤耦合器(102)、待测光学器件安装座(103)和第二光纤耦合器(104)构成一个马赫曾德干涉仪，马赫曾德干涉仪的输出端连接电光调制器(105)，电光调制器(105)输出的调制信号经过色散光纤(106)后入射到高速光电探测器(107)上，高速光电探测器(107)将光信号装换成微波信号并通过低噪放(108)放大，低噪放(108)输出端连接微波功分器(109)，微波功分器(109)将一部分微波信号注入到电光调制器(105)中，同时将另一部分微波信号输入频谱仪(201)，频谱仪(201)末端连接计算机(202)。
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