[发明专利]一种沉积系统及其气体传输方法

摘要

本发明公开了一种沉积系统，包括第一腔室、第二腔室及其共用的一气体供给装置，气体供给装置包括前躯体A源、前躯体B源和吹扫气体C源，前躯体A源通过第一腔室前躯体A输出管路和第二腔室前躯体A输出管路分别连接第一腔室和第二腔室，前躯体B源通过第一腔室前躯体B输出管路和第二腔室前躯体B输出管路分别连接第一腔室和第二腔室，吹扫气体C源通过第一腔室前躯体A吹扫管路、第一腔室前躯体B吹扫管路分别连接第一腔室，并通过第二腔室前躯体A吹扫管路、第二腔室前躯体B吹扫管路分别连接第二腔室；本发明可提高前躯体的利用率，并可缩减设备的占地空间。本发明还公开了一种沉积系统的气体传输方法。

主权项

1.一种沉积系统，其特征在于，包括：第一腔室和第二腔室，以及共用于第一腔室和第二腔室的一气体供给装置；所述气体供给装置包括前躯体A源、前躯体B源和吹扫气体C源；所述前躯体A源通过第一腔室前躯体A输出管路和第二腔室前躯体A输出管路分别连接第一腔室和第二腔室；所述前躯体B源通过第一腔室前躯体B输出管路和第二腔室前躯体B输出管路分别连接第一腔室和第二腔室；所述吹扫气体C源通过第一腔室前躯体A吹扫管路、第一腔室前躯体B吹扫管路分别对应接入第一腔室前躯体A输出管路、第一腔室前躯体B输出管路以分别连接第一腔室，并通过第二腔室前躯体A吹扫管路、第二腔室前躯体B吹扫管路分别对应接入第二腔室前躯体A输出管路、第二腔室前躯体B输出管路以分别连接第二腔室。