[发明专利]长条状光学元件面形的快速拼接检测装置和测量方法在审
| 申请号： | 201711124538.3 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN107990839A | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 顿爱欢;邵建达;嵇文超;张阳;吴福林;徐学科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种长条状光学元件面形的快速拼接检测装置和检测方法，该装置包括水平调节机构、垂直调节机构、气浮平台、二维精密调整台、大口径光学元件、伺服电机、数控直线导轨、运动电控箱、小口径数字化激光干涉仪和电子计算机；本发明用小口径干涉仪对大口径光学元件面形进行快速、精确测量，降低了测量难度和成本，提高了自动化的测量程度，大大提高了面形检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 条状 光学 元件 快速 拼接 检测 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种长条状光学元件面形的快速拼接检测装置，其特征在于该装置包括：水平调节机构(1)、垂直调节机构(2)、气浮平台(3)、二维精密调整台(4)、大口径光学元件(5)、伺服电机(6)、数控直线导轨(7)、运动电控箱(8)、小口径数字化激光干涉仪(9)和电子计算机(10)；在所述的气浮平台(3)上设置所述的二维精密调整台(4)和所述的数控直线导轨(7)，所述的大口径光学元件(5)放置在所述的二维精密调整台(4)上，所述的水平调节机构(1)和垂直调节机构(2)控制所述的二维精密调整台(4)，以精细调整所述的大口径光学元件(5)的俯仰参数和高低位置；所述的数控直线导轨(7)上设有电控移动平台，该电控移动平台在所述的伺服电机(6)驱动下沿所述的数控直线导轨(7)做直线运动；所述的小口径数字化激光干涉仪(9)固定在所述的电控移动平台上，在所述的伺服电机(6)带动下所述的小口径数字化激光干涉仪(9)沿所述的数控直线导轨(7)直线运动；所述的伺服电机(6)与运动电控箱(8)连接并受其控制；所述的运动电控箱(8)的控制端和小口径数字化激光干涉仪(9)的输出端分别与所述的电子计算机(10)连接并受其控制；所述的面形拼接软件安装在所述的电子计算机(10)上。
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