[发明专利]使用反射电子探针对玻璃缺陷进行分析的方法有效
| 申请号： | 201711125391.X | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108061736B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 李志勇;李青;郑权;王丽红;闫冬成;李俊锋;张广涛 | 申请（专利权）人： | 东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 耿超;王浩然 |
| 地址： | 050035 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种使用反射电子探针对玻璃缺陷进行分析的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：S1、标记玻璃缺陷的位置并测量玻璃缺陷距离玻璃表面的深度；S2、将距离所述玻璃缺陷最近的玻璃表面作为切割面，并使用玻璃刀对所述切割面进行多次切割，得到具有多条切割裂痕的切割后的样品；S3、观察所述切割后的样品，如果有至少一条所述切割裂痕与所述玻璃缺陷的位置的距离为0～0.55mm，则将所述切割裂痕作为用于在透射电镜下定位玻璃缺陷的特征裂痕；S4、以所述特征裂痕为参照物，使用反射电子探针对所述玻璃缺陷进行定位分析。本公开很好的解决了现有方法中缺陷定位不准的问题，且该方法简单快捷，无需增加额外的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 反射 电子探针 玻璃 缺陷 进行 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种使用反射电子探针对玻璃缺陷进行分析的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：S1、标记玻璃缺陷的位置并测量玻璃缺陷距离玻璃表面的深度；S2、将距离所述玻璃缺陷最近的玻璃表面作为切割面，并使用玻璃刀对所述切割面进行多次切割，得到具有多条切割裂痕的切割后的样品；S3、观察所述切割后的样品，如果有至少一条所述切割裂痕与所述玻璃缺陷的位置的距离为0～0.55mm，则将所述切割裂痕作为用于在透射电镜下定位玻璃缺陷的特征裂痕；S4、以所述特征裂痕为参照物，使用反射电子探针对所述玻璃缺陷进行定位分析。
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