[发明专利]一种太阳能电池载板在审
| 申请号： | 201711126093.2 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109786312A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 庄辉虎;林锦山;杨与胜;宋广华;谢延权;王树林 | 申请（专利权）人： | 福建钧石能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池载板，所述载板为一片载板基体单元的独立单位结构或多片重复的载板基体单元排列组合的整体结构，所述载板基体单元包括载板支撑框、用于支撑硅片四周边缘的第一阶梯凹槽和设于第一阶梯凹槽内的第二阶梯凹槽，所述第二阶梯凹槽内分布有与硅片中间部分点接触的若干支撑点。本发明通过与硅片中间部分点接触的若干支撑点与硅片接触，减少接触面积，有利降低硅片与载板间的摩擦，减少膜层损伤，有效降低载板对硅片热影响，方便硅片温度调整变化，提高硅片的升温速率，与硅片充分接触，使得硅片在工艺过程中，具有良好接地，排除工艺过程中的杂散电子对薄膜沉积的影响，提高硅片上的成膜质量和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 阶梯凹槽 载板 太阳能电池 工艺过程 载板基体 点接触 支撑点 薄膜沉积 充分接触 单元排列 独立单位 膜层损伤 四周边缘 温度调整 接地 板基体 均匀性 热影响 支撑框 成膜 多片 杂散 摩擦 支撑 重复 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池载板，其特征在于：所述载板为一片载板基体单元的独立单位结构或多片重复的载板基体单元排列组合的整体结构，所述载板基体单元包括载板支撑框、用于支撑硅片四周边缘的第一阶梯凹槽和设于第一阶梯凹槽内的第二阶梯凹槽，所述第二阶梯凹槽内分布有与硅片中间部分点接触的若干支撑点。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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