[发明专利]具有杂散谐振抑制的膜体声谐振器有效
| 申请号： | 201711127532.1 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108075743B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | R·B·斯托克斯;A·M·康;侯立平;D－J·玄;王兴国 | 申请（专利权）人： | 环球通信半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有杂散谐振抑制的膜体声谐振器。描述了设备和用于制备设备的过程，用于减少体声谐振器中的杂散波的谐振。第一电极耦合到压电层的第一侧，并且第二电极耦合到压电层的第二侧。压电层被配置为响应于施加在第一电极和第二电极之间的电信号而谐振。第一电极、压电层和/或第二电极中的穿孔，和/或支撑第二电极的柱或梁，减少了杂散波的谐振。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 谐振 抑制 膜体声 谐振器 | ||
【主权项】：
1.一种体声谐振器，包括：堆叠，包括：第一电极，耦合到压电层的第一侧；以及第二电极，耦合到所述压电层的第二侧；其中所述堆叠被配置为响应于施加在所述第一电极和所述第二电极之间的电信号而谐振；并且其中第一多个穿孔穿过所述第二电极，所述第一多个穿孔穿孔减少杂散波的谐振。
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