[发明专利]气体分析装置和气体分析方法在审
申请号: | 201711127904.0 | 申请日: | 2017-11-15 |
公开(公告)号: | CN108120693A | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 横田佳洋 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场制作所 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 周善来;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供气体分析装置和气体分析方法,即使在作为共存成分的第二气体成分的浓度时刻变动的情况下也能实时地修正第二气体对第一气体的影响。所述气体分析装置包括:第一气体分析部(2),测量试样气体所含的第一气体成分的浓度;第二气体分析部(3),测量所述试样气体所含的第二气体成分的浓度;修正系数存储部(41),存储用于修正第二气体对第一气体的影响的修正系数;以及浓度修正部(43),根据修正系数、用于第一气体分析部(2)的校准的校准气体的第二气体成分的浓度和通过第二气体分析部(3)得到的第二气体成分的浓度,修正通过第一气体分析部(2)得到的第一气体成分的浓度。 | ||
搜索关键词: | 气体分析 气体分析装置 修正系数 修正 浓度修正部 测量试样 试样气体 校准气体 存储部 校准 测量 存储 | ||
【主权项】:
一种气体分析装置,其特征在于,所述气体分析装置包括:第一气体分析部,测量试样气体所含的第一气体成分的浓度;第二气体分析部,测量所述试样气体所含的第二气体成分的浓度;修正系数存储部,存储用于修正所述第二气体对所述第一气体的影响的修正系数;以及浓度修正部,根据所述修正系数、用于所述第一气体分析部的校准的校准气体的第二气体成分的浓度以及通过所述第二气体分析部得到的第二气体成分的浓度,对通过所述第一气体分析部得到的第一气体成分的浓度进行修正。
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