[发明专利]一种基于纳米浮栅有机场效应晶体管存储器及制备方法有效
申请号: | 201711128735.2 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN108054169B | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 宋娟;徐新水;钱妍;仪明东;谢令海;黄维 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | H01L27/11517 | 分类号: | H01L27/11517;H01L27/28;H01L51/05;H01L51/30 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 武政 |
地址: | 210046 江苏省南京市栖霞区亚东新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明是基于有机小分子的有机场效应晶体管存储器,通过浮栅‑遂穿层一体化构造的器件结构。整个器件从上到下依次是:源漏电极、半导体层、浮栅‑遂穿层、栅绝缘层,其中浮栅层与遂穿层共同构成构成电荷存储层。本发明旨在通过简单的溶液悬涂工艺形成一种纳米结构避免了复杂的纳米技术制备薄膜,实现较大的存储窗、开关比(10 |
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搜索关键词: | 一种 基于 纳米 有机 场效应 晶体管 存储器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于纳米浮栅有机场效应晶体管存储器,其特征在于:从上至下依次包括源漏电极(5)、半导体层(4)、电荷存储层(3)、栅绝缘层(2)、衬底(1),其中所述电荷存储层(3)由遂穿层和浮栅共同组成;所述电荷存储层(3)是由有机小分子材料与疏水性高介电常数绝缘材料制备而成;所述的存储器的下部分还包括形成于衬底(1)上的栅电极,所述的存储器采用的是底栅顶接触的器件结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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