[发明专利]一种环形微机电陀螺敏感结构在审
| 申请号： | 201711129755.1 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109781086A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 郭中洋;刘飞;盛洁;苏翼;夏春晓;王登顺;窦茂莲;刘凯 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 汝小龙 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于惯性测量技术领域，具体涉及一种环形微机电陀螺敏感结构；该结构包括外环、锚接点、组合梁、驱动电极组、检测电极组和调谐电极组；锚接点位于中心，外环通过多个组合梁与锚接点连接，外环与锚接点同心，外环的上、下底面悬空设置，驱动电极组和检测电极组交替均布设置在外环外侧，调谐电极组均布设置在外环内侧；工作时，外环在驱动电极组静电力作用下保持驱动模态振型，当外界有角速率作用时，通过哥式力耦合，激发检测模态振型，检测电极组通过检测电容间隙的变化实现外界输入的感测，调谐电极组实现驱动和检测模态的频率匹配。本发明采用中心单点支撑对称结构，锚点在驱动和检测模态的振形节点位置，大幅降低支撑损耗，获取高Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 锚接点 调谐 检测电极 驱动电极 电极组 微机电陀螺 均布设置 敏感结构 检测模 组合梁 静电力作用 驱动 单点支撑 对称结构 惯性测量 激发检测 检测电容 节点位置 模态振型 频率匹配 驱动模态 悬空设置 力耦合 下底面 感测 锚点 振型 同心 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种环形微机电陀螺敏感结构，其特征在于：该结构包括外环、锚接点、组合梁、驱动电极组、检测电极组和调谐电极组；锚接点位于中心，外环通过多个组合梁与锚接点连接，外环与锚接点同心，外环的上、下底面悬空设置，驱动电极组和检测电极组交替均布设置在外环外侧，调谐电极组均布设置在外环内侧；工作时，外环在驱动电极组静电力作用下保持驱动模态振型，当外界有角速率作用时，通过哥式力耦合，激发检测模态振型，检测电极组通过检测电容间隙的变化实现外界输入的感测，调谐电极组实现驱动和检测模态的频率匹配。
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