[发明专利]快速测量薄膜材料的热导率的装置和方法有效
| 申请号： | 201711130271.9 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN107843616B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 项晓东;武跃维;汪晓平 | 申请（专利权）人： | 宁波星河材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 姜龙;徐迅 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速测量薄膜材料的热导率的装置和方法，具体地，该装置包括控制设备、时钟同步器、激光器、快速测温仪以及热导率输出设备；控制设备和时钟同步器信号连接，时钟同步器同时与激光器和快速测温仪信号连接；在工作状态下，控制设备向时钟同步器发送启动信号，激光器和快速测温仪协调联动，激光器发出激光照射到样品表面，与此同时，快速测温仪捕捉在样品加热过程中不同时间点，同一指定位置的样品的表面温度，将测得的数据输入热导率输出设备，得到所需热导率参数。本发明的装置结构简单，方法高效准确，可为目前的各种超薄半导体薄膜热物性的设置提供可靠的参数数据。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 测量 薄膜 材料 热导率 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种快速测量薄膜材料的热导率的装置，其特征在于，所述装置包括控制设备、时钟同步器、激光器、快速测温仪以及热导率输出设备；所述控制设备和所述时钟同步器信号连接，所述时钟同步器同时与所述激光器和所述快速测温仪信号连接；在工作状态下，所述控制设备向所述时钟同步器发送启动信号，所述激光器和所述快速测温仪协调联动，所述激光器发出激光照射到样品表面，与此同时，所述快速测温仪捕捉在所述样品加热过程中不同时间点，同一指定位置的所述样品的表面温度，将测得的数据输入所述热导率输出设备，得到所需热导率参数。
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