[发明专利]调节电感结构感值的方法有效
| 申请号： | 201711132888.4 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN107946279B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 黎坡 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01F21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种调节电感结构感值的方法，所述电感结构包括衬底、形成于衬底上的导电层和形成于所述导电层上的第一介质层，所述第一介质层中形成有电感线圈，所述衬底和所述电感线圈之间形成有一导电层，当所述电感线圈上有电流时，衬底会感应出感应电荷，该感应电荷产生一个与线圈电流相反的镜像电流，而在所述导电层上施加电压，电压的增大和减小可以改变所述衬底上感应出的感应电荷，从而控制所述镜像电流的大小，最终改变有效磁场强度和有效的电感结构感值。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 电感 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种调节电感结构感值的方法，其特征在于，所述调节电感结构感值的方法包括：提供电感结构，所述电感结构包括衬底、形成于所述衬底上的导电层及形成于所述导电层上的第一介质层，所述第一介质层中形成有电感线圈；在所述电感结构的导电层施加电压。
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