[发明专利]探针卡电路及其测试方法有效
| 申请号： | 201711132890.1 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN107765039B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 任栋梁;钱亮 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探针卡电路及其测试方法，所述滤波单元、第一节点、探针单元和第二节点顺次连接构成一回路；所述开关单元处于所述回路中，而探针单元电连接一晶圆；所述晶圆测试机连接所述第一节点，所述第二节点接地。本发明提供的晶圆测试方法，由于所述开关单元处在所述滤波单元和所述探针单元构成的回路中，可以起到隔离所述滤波单元和所述晶圆的作用，规避了由于滤波单元的充放电效应对晶圆测试造成的影响，在没有增加任何成本的前提下提升了测试稳定性；提升了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 电路 及其 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种探针卡电路，其特征在于，所述探针卡电路包括探针单元、滤波单元、开关单元、第一节点和第二节点；所述滤波单元、第一节点、探针单元和第二节点顺次连接构成一回路，所述开关单元处于所述回路中；所述探针单元与一晶圆电连接；一晶圆测试机连接所述第一节点，所述第二节点接地。
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