[发明专利]一种器件导通时的电阻的测试方法有效
| 申请号： | 201711132939.3 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN107907743B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 李雪梅 | 申请（专利权）人： | 华润微电子（重庆）有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 401331 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种器件导通时的电阻的测试方法，包括：步骤S1，将第一器件和第二器件的栅极相连，以及漏极相连；步骤S2，向相连的栅极施加一测试电压，以将第一器件和第二器件同时导通；步骤S3，采集第一器件和第二器件的两个源极之间的导通时的电阻；能够检测导通时的电阻的同时，不会受到测试时晶圆背面接触不良的影响，可靠性高，测量准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 导通时 电阻 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种器件导通电阻的测试方法，应用于一第一器件和一第二器件；其特征在于，包括：步骤S1，将所述第一器件和所述第二器件的栅极相连，以及漏极相连；步骤S2，向相连的所述栅极施加一测试电压，以将所述第一器件和所述第二器件同时导通；步骤S3，采集所述第一器件和所述第二器件的两个源极之间的导通电阻。
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