[发明专利]一种芯片加工生产系统在审
申请号: | 201711133217.X | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN108172528A | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 肖梓健;王昌华 | 申请(专利权)人: | 盐城盈信通科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 袁兴隆 |
地址: | 224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种芯片加工生产系统,包括长方形状的安全栅栏,所述安全栅栏上设置有检测模块,以及设置在安全栅栏内的搬运机械手、进料盒、加工平台和出料盒;进一步在加工平台的固定架上安装有两套加工工具来对待加工芯片进行粗加工和精加工,从而提高芯片加工作业的精度和安全性。 1 | ||
搜索关键词: | 安全栅栏 芯片加工 加工平台 生产系统 搬运机械手 长方形状 加工工具 检测模块 出料盒 固定架 进料盒 精加工 两套 芯片 加工 | ||
所述进料盒和所述出料盒分置于所述加工平台的旁边,所述进料盒、出料盒以及所述加工平台所在空间均为所述搬运机械手的工作空间;所述搬运机械手用于将进料盒中的待加工芯片取出放置于加工平台,并将加工平台加工后的成品芯片取出放置于出料盒;
所述加工平台上安装有固定架,所述固定架上安装有两套加工工具,第一套加工工具为粗磨削刀具,第二套加工工具为精磨削刀具;
所述粗磨削刀具和精磨削刀具在平行于所述固定架的平面内旋转,所述固定架上还设置一环形跑道状的移动台,所述移动台设置有传送带,所述移动带上设置多个放置台,每个放置台上均能够放置一个待加工芯片。
3.根据权利要求1所述的一种芯片加工生产系统,其特征在于:所述检测模块包括四个摄像头、多个红外传感器和警报器,所述四个摄像头设置在安全栅栏的四个直角角落上,所述多个红外传感器分布在安全栅栏上,通过四个摄像头和多个红外传感器对安全栅栏周边进行监控,当监测到有外来人或物接近安全栅栏时,将监测数据发送给所述控制装置并启动警报器作业,所述控制装置根据接受到的监测数据来控制搬运机械手和加工平台的启动与暂停。
4.根据权利要求1所述的一种芯片加工生产系统,其特征在于:所述搬运机械手中设置有机械手控制单元,所述机械手控制单元与所述控制装置通信连接,以使得所述搬运机械手受控于所述控制装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造