[发明专利]一种宽气压范围适用的残余气体分析系统在审
| 申请号： | 201711135129.3 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109799315A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 杨宪福;曹建勇 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于真空技术领域，具体涉及一种宽气压范围适用的残余气体分析系统。本发明包括分析腔、进气口(KF16)、上法兰、微调阀、电离规、残余气体分析仪、分子泵和前级泵，分析腔为圆形真空室，带有四个接口，其上端为DN100法兰，用于连接上法兰，中部两个左右对穿接口，用于连接电离规的KF40法兰和用于连接分子泵的CF100法兰，下端为CF35法兰，用于连接残余气体分析仪；电离规设置在分析腔中部，残余气体分析仪安装在分析腔中部；统通过微调阀水平接口与待测真空室连接。利用本发明的系统，可以将残余气体分析仪的工作压力拓展为大气压至超高真空可测。 | ||
| 搜索关键词： | 分析腔 法兰 残余气体分析仪 电离规 残余气体分析系统 上法兰 微调阀 气压 进气口 残余气体分析 真空技术领域 超高真空 连接分子 水平接口 圆形真空 分子泵 前级泵 真空室 上端 对穿 下端 拓展 | ||
【主权项】：
1.一种宽气压范围适用的残余气体分析系统，包括分析腔、进气口(KF16)、上法兰、微调阀、电离规、残余气体分析仪、分子泵和前级泵，其特征在于：分析腔为圆形真空室，带有四个接口，其上端为DN100法兰，用于连接上法兰，中部两个左右对穿接口，用于连接电离规的KF40法兰和用于连接分子泵的CF100法兰，下端为CF35法兰，用于连接残余气体分析仪；电离规设置在分析腔中部，残余气体分析仪安装在分析腔中部；系统通过微调阀水平接口与待测真空室连接。
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