[发明专利]碳化硅光学镜面加工方法在审
| 申请号： | 201711137549.5 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107932196A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 张淑芬 | 申请（专利权）人： | 陕西启源科技发展有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司61220 | 代理人： | 张建 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区沣*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明碳化硅光学镜面加工方法涉及镜面加工领域，具体涉及碳化硅光学镜面加工方法，包括以下步骤将磨料与水按质量比11混合调匀备用；粗磨，工件粗磨时，磨具采用碳化硅盘，在研磨过程中不断的将调好的磨料加入磨具与工件之间，并以一定的压力和相对运动速度进行研磨；细磨阶段一般采用研磨法，磨具沿用粗磨阶段磨具，磨料选用粒径在10～100um之间的碳化硼粉或金刚石微粉，与粗磨相似，在研磨过程中不断的将调好的磨料加入磨具与工件之间，并以一定的压力和相对运动速度进行研磨；本发明可对碳化硅镜面加工，能保证加工精度，提高上产效率，降低成本及工人劳动强度，具有一定的经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 光学 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种碳化硅光学镜面加工方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，将磨料与水按质量比1:1混合调匀备用；第二步，粗磨，工件粗磨时，磨具采用碳化硅盘，在研磨过程中不断的将调好的磨料加入磨具与工件之间，并以一定的压力和相对运动速度进行研磨；第三步，细磨阶段采用研磨法，磨具沿用粗磨阶段磨具，磨料选用粒径在10～100um之间的碳化硼粉或金刚石微粉， 与粗磨相似，在研磨过程中不断的将调好的磨料加入磨具与工件之间，并以一定的压力和相对运动速度进行研磨；第四步，抛光，在抛光阶段的初期，采用聚氨酯制成的抛光盘，以较大的压力和较高的速度，以提高抛光效率；当细磨阶段的下表面破坏层被完全去除后，降低压力与速度，以便于更好的控制面形精度，在抛光的最后阶段采用沥青抛光盘。
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