[发明专利]一种新型的实时监控光刻胶喷涂系统及工作方法

摘要

本发明公开了一种实时监控光刻胶喷涂系统及工作方法，包括光刻胶瓶；光刻胶储存罐的入口端连接光刻胶瓶的出口端；光刻胶供应系统包括光刻胶过滤器、光刻胶压缩泵和流量调节阀；光刻胶过滤器安装于光刻胶压缩泵的入口端处；光刻胶储存罐的出口端连接光刻胶过滤器的入口端，光刻胶过滤器的出口端连接光刻胶压缩泵的入口端；流量调节阀的入口端连接光刻胶压缩泵的出口端；喷嘴的入口端连接流量调节阀的出口端；红外线检测器设置于喷嘴上；红外线检测器连接涂布控制单元，涂布控制单元连接机台通信系统，机台通信系统连接机台运行数据整合系统。本发明通过实时检测光刻胶涂布情况可以及时发现涂布不正常的现象。

主权项

一种新型的实时监控光刻胶喷涂系统，其特征在于，包括：光刻胶瓶；光刻胶储存罐，所述光刻胶储存罐的入口端连接所述光刻胶瓶的出口端；光刻胶供应系统，所述光刻胶供应系统包括光刻胶过滤器、光刻胶压缩泵和流量调节阀；所述光刻胶过滤器安装于所述光刻胶压缩泵的入口端处；所述光刻胶储存罐的出口端连接所述光刻胶过滤器的入口端，所述光刻胶过滤器的出口端连接所述光刻胶压缩泵的入口端；所述流量调节阀的入口端连接所述光刻胶压缩泵的出口端；喷嘴，所述喷嘴的入口端连接所述流量调节阀的出口端；红外线检测器，所述红外线检测器设置于所述喷嘴上；所述红外线检测器连接涂布控制单元，所述涂布控制单元连接机台通信系统，所述机台通信系统连接机台运行数据整合系统。