[发明专利]一种基于加载条形结构的有源复合光波导及其制备方法有效
| 申请号： | 201711142349.9 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107797313B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 王希斌;姜明慧;张大明;王菲;张美玲;许强 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02F1/065 | 分类号： | G02F1/065 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于加载条形结构的有源复合光波导及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。其一由硅片衬底、二氧化硅下包层、基于极化聚合物电光材料的光波导芯层、基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导、聚合物上包层和共面波导CPW调制电极(11)组成；其二由硅片衬底、MSL下电极、具有MZI波导凹槽结构的聚合物下包层、基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导、基于极化聚合物电光材料的光波导芯层、聚合物上包层和MSL型上电极(21)组成。本发明所述的加载条形有源复合光波导结构可以实现传统单一波导的多功能集成，并且器件的制作工艺简单，制作成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 加载 条形 结构 有源 复合 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于下加载条形结构的有源复合光波导，其特征在于：从下到上，由硅片衬底(16)、在硅片衬底(16)上制备的二氧化硅下包层(15)、在二氧化硅下包层(15)上制备的基于极化聚合物电光材料的光波导芯层(14)、在光波导芯层(14)上制备的基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导(13)、在加载条形波导(13)上制备的聚合物上包层(12)、在聚合物上包层(12)上制备的共面波导CPW调制电极(11)组成；MZI波导输入和输出直波导区域的光波导芯层(14)的材料折射率比MZI波导中间调制区的两条直波导和Y分支波导区域的光波导芯层(14)的材料折射率低0.002～0.028，MZI波导中间调制区的两条直波导分别与CPW调制电极(11)的中心电极和其中的一根地电极位置对应。
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