[发明专利]一种等离子体高度调整装置及方法在审
| 申请号： | 201711143883.1 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107991289A | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 郑磊落;郭淳;陈挺;楼屹;赖晓健 | 申请（专利权）人： | 浙江全世科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体高度调整装置及方法，该装置包括MPT模块、光纤探头、光学系统、摄像头、检测终端、控制板和排气模块，MPT模块为等离子体炬管；排气模块用于对等离子体炬管的腔室进行排气；光纤探头用于获取等离子体产生的光信号；光学系统与光纤探头连接，用于根据光纤探头传来的光信号生成光谱图；摄像头用于拍摄等离子体图像；检测终端用于通过控制板来控制排气模块的排气速度，根据光学系统生成的光谱图计算得到该光谱图的信背比以及对摄像头拍摄的等离子体图像进行识别，以获得等离子体高度。本发明通过排气改变等离子体气体浓度，进而间接改变等离子体高度，使实际取像点位于等离子的最佳观测区间，从而提高了检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 高度 调整 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体高度调整装置，其特征在于，包括MPT模块、光纤探头、光学系统、摄像头、检测终端、控制板和排气模块，所述MPT模块为等离子体炬管；所述排气模块用于对所述等离子体炬管的腔室进行排气；所述光纤探头用于获取等离子体产生的光信号；所述光学系统与所述光纤探头连接，用于根据所述光纤探头传来的光信号生成光谱图；所述摄像头用于拍摄等离子体图像；所述检测终端用于通过所述控制板来控制所述排气模块的排气速度，根据所述光学系统生成的光谱图计算得到该光谱图的信背比以及对所述摄像头拍摄的等离子体图像进行识别，以获得等离子体高度。
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