[发明专利]单晶二氧化钛薄膜的制备方法以及制备用蒸发架有效
| 申请号： | 201711144462.0 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108950532B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王国成;宋小霞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C22/54 | 分类号： | C23C22/54;C23C22/34 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶二氧化钛薄膜的制备方法，包括：用酸洗液对钛基金属进行清洗0.5‑5分钟；将该酸洗后的钛基金属置于蒸发架上，加入形貌引导液浸没该钛基金属，并将所述蒸发架置于装有酸蒸溶液的蒸发釜，加热至120‑230℃进行湿蒸处理0.5‑24小时。本申请还公开了一种单晶二氧化钛薄膜制备用蒸发架。本发明的单晶二氧化钛薄膜的制备方法无需模板，除钛基金属外无需额外添加钛源和表面活性剂，同时也不需要增加后续煅烧热处理结晶以及其他任何处理，即可在钛基金属基体表面原位形成形貌、大小可控的氧化钛单晶体，而且制得的单晶与钛基金属基底结合力强，另外该方法使用酸量极少，从而可以简化后处理工艺，降低成本，而且对环境非常友好。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶二 氧化 薄膜 制备 方法 以及 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种单晶二氧化钛薄膜的制备方法，包括：用酸洗液对钛基金属进行清洗；将该酸洗后的钛基金属置于蒸发架上，加入形貌引导液浸没该钛基金属，并将所述蒸发架置于装有酸蒸溶液的蒸发釜，加热至120‑230℃进行湿蒸处理0.5‑24小时。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理
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