[发明专利]时间分辨的带电粒子显微术有效
| 申请号： | 201711144530.3 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108122725B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | E.R.基伊夫特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;郑冀之 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用带电粒子显微术来研究样本的方法，该方法包括以下步骤：‑使用主源来产生沿着射束路径传播的带电粒子脉冲射束；‑在所述射束路径中的照射位置处提供样本；‑使用次源来产生样本的重复激励；‑使用检测器来登记在每次所述激励之后穿过样本的所述射束中的带电粒子，其中：‑所述主源被配置成由所述次源的每个激励产生一串多个脉冲；‑所述检测器被配置成包括像素的集成阵列，所述像素每一个都具有单独的读出电路，以登记所述串中的单独粒子的到达时间。 | ||
| 搜索关键词： | 时间 分辨 带电 粒子 显微 | ||
【主权项】：
一种使用带电粒子显微术来研究样本的方法，该方法包括以下步骤：‑ 使用主源来产生沿着射束路径传播的带电粒子脉冲射束；‑ 在所述射束路径中的照射位置处提供样本；‑ 使用次源来产生样本的重复激励；‑ 使用检测器来登记在每次所述激励之后穿过样本的所述射束中的带电粒子，其特征在于：‑ 所述主源被配置成由所述次源的每个激励产生一串多个脉冲；‑ 所述检测器被配置成包括像素的集成阵列，所述像素每一个都具有单独的读出电路，以登记所述串中的单独粒子的到达时间。
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