[发明专利]级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法

摘要

本发明提出了一种级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法，其中级联薄膜基片粘结体制作工装，包括：工装主体、压力调整机构；工装主体，用于承载多个层叠的级联薄膜基片，级联薄膜基片之间涂有粘结剂；压力调整机构，用于调整多个层叠的级联薄膜基片之间的压力分布，并将压力分布均匀的多个层叠的基片压制成级联薄膜基片粘结体。所加工得到的级联薄膜光学器件的波前畸变小，可以适用于各种通信、测量等高精密光学系统，且提高了透过光束能量阈值，减小在高能激光应用中出现炸裂的可能性，还可以大幅提高级联薄膜光学器件的合束、分束系统的角度精度，提高光能利用率。

主权项

一种级联薄膜基片粘结体制作工装，用于制作级联薄膜基片粘结体，所述级联薄膜基片粘结体用于制作级联薄膜光学器件，其特征在于，包括：工装主体、压力调整机构；所述工装主体，用于承载多个层叠的级联薄膜基片，所述级联薄膜基片之间涂有粘结剂；所述压力调整机构，用于调整所述多个层叠的级联薄膜基片之间的压力分布，并将压力分布均匀的所述多个层叠的基片压制成级联薄膜基片粘结体。