[发明专利]一种含羟胺清洗液、其制备方法及应用有效
| 申请号： | 201711146092.4 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107765514B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦;袁红 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含羟胺清洗液、其制备方法及应用。本发明的含羟胺清洗液由下述原料制得，所述的原料包括下列质量分数的组分：10‑60％的水、10‑50％的水溶性有机溶剂、0.1‑20％的胺化合物、1‑30％的羟胺类化合物和/或其盐、和5‑15％的环糊精改性烷撑二醇烷基醚化合物，各组分质量分数之和为100％。本发明的含羟胺清洗液超越了传统羟胺类清洗剂的清洗能力，同时对金属和非金属的腐蚀速率较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含羟胺 清洗 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种含羟胺清洗液，其特征在于，其由下述原料制得，所述的原料包括下列质量分数的组分：10‑60％的水、10‑50％的水溶性有机溶剂、0.1‑20％的胺化合物、1‑30％的羟胺类化合物和/或其盐、和5‑15％的环糊精改性烷撑二醇烷基醚化合物，各组分质量分数之和为100％；所述的胺化合物为2‑乙基己基胺、二乙基胺、正丁基胺、叔丁基胺、正己基胺、环己基胺、正辛基胺、N‑甲基‑N‑丁基胺和正十二烷基胺中的一种或多种。
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