[发明专利]一种晶圆转速测量装置、方法及系统在审
| 申请号： | 201711146370.6 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107957500A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 井海石;王东辉;田洪涛;陶利权 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G01P3/36 | 分类号： | G01P3/36 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 王宁宁 |
| 地址： | 102600 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆转速测量装置、方法及系统，其中，该装置包括主动轮组件、从动轮组件和测量组件；测量组件设置在从动轮组件上；主动轮组件，用于通过自身的旋转驱动晶圆旋转，以使晶圆旋转带动从动轮组件旋转；测量组件，用于对从动轮组件旋转输出的脉冲信号进行频率测量；其中，脉冲信号是对从动轮组件的输出轴的角位移进行转换得到的信号，频率测量结果对应于晶圆的转速。通过本发明提供的晶圆转速测量装置、方法及系统，其根据从动轮组件轴旋转输出脉冲信号频率测量进行晶圆转速的测量，有助于对刷洗单元工作的监控，降低刷洗单元突发故障造成的损失，进一步提升CMP后清洗的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转速 测量 装置 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种晶圆转速测量装置，其特征在于，包括：主动轮组件、从动轮组件和测量组件；所述测量组件设置在所述从动轮组件上；所述主动轮组件，用于通过自身的旋转驱动晶圆旋转，以使所述晶圆旋转带动所述从动轮组件旋转；所述测量组件，用于对所述从动轮组件旋转输出的脉冲信号进行频率测量；其中，所述脉冲信号是对所述从动轮组件的输出轴的角位移进行转换得到的信号，频率测量结果对应于所述晶圆的转速。
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