[发明专利]一种基于CCD的摆镜线性度测试方法在审
| 申请号： | 201711153803.0 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107907073A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 周培涛 | 申请（专利权）人： | 北京长峰科威光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京兆君联合知识产权代理事务所(普通合伙)11333 | 代理人： | 初向庆 |
| 地址： | 100195 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于CCD的摆镜线性度测试方法，采用摆镜、激光器、CCD、PC机组成摆镜线性度测试系统；摆镜与电机的输出轴一端连接，电机的输出轴另一端连接高精度光电编码器；电机带动摆镜转动，用激光器发射光源照射摆镜，采用CCD接收摆镜的反射光，得到一系列光斑信号，通过AD转换输出给CCD驱动电路，计算出每一个光斑的坐标信息；同时CCD通过光电编码器读取摆镜转动的角度信息，标定每个光斑中心所对应的角度值，输出到PC机将实测角度值与完全线性的理想角度值进行比较，得到实测角度值与理想角度值的差值，从而计算出摆镜的线性度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ccd 线性 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种基于CCD的摆镜线性度测试方法，其特征在于：(1)采用摆镜、激光器、CCD、PC机组成摆镜线性度测试系统；摆镜与电机的输出轴一端连接，电机的输出轴另一端连接高精度光电编码器；(2)电机带动摆镜转动，用激光器发射光源照射摆镜，采用CCD接收摆镜的反射光，得到一系列光斑信号，CCD将采集得到光斑信号转换为模拟电信号，通过AD转换后，输出给CCD驱动电路进行运算，计算出每一个光斑的坐标信息；同时CCD通过光电编码器读取摆镜转动的角度信息，CCD通过FPGA查表标定每个光斑中心所对应的实测角度值，然后将实测角度值通过串口角度信号输出到PC机；(3)PC机将实测角度值与完全线性的理想角度值进行比较，得到实测角度值与理想角度值的差值，然后用该差值的绝对值除以理想角度值再乘以100％，从而得到摆镜的线性度。
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