[发明专利]喷淋蚀刻系统

摘要

一种喷淋蚀刻系统，系统包括电机、蚀刻箱、蚀刻液喷射装置、摆动导杆机构、压力表、流量计、塑料泵、蚀刻液收集箱、ORP氧化还原计、由加热棒和冷却管道组成的温控系统等设备。蚀刻液在塑料泵的驱动下由蚀刻收集箱流入蚀刻箱中，其以一定压力从多边形的喷射装置喷嘴喷出到蚀刻基板上，来蚀刻裸露在光刻胶之间的基体，期间电机带动基体作平面运动，摆动导杆带动基体作转动，温控系统控制蚀刻液的温度，ORP氧化还原计监控蚀刻液的化学反应能力。本发明可以控制喷淋蚀刻系统在不同的压力、流量、温度、喷淋装置与基体间距下实现高效可控性蚀刻，有利于研究各因素对蚀刻质量及蚀刻后形貌的影响；蚀刻基板和喷淋装置成多边形分布，有利于充分利用蚀刻箱空间、提高蚀刻效率来实现多块基体同时蚀刻；蚀刻基板在电机和摆动导杆机构的带动下，有助于实现蚀刻的均匀性。

主权项

1.一种喷淋蚀刻系统，包括电机(1)、蚀刻箱(2)、蚀刻液喷射装置(4)、摆动导杆机构(5)、压力表(7)、流量计(8)、塑料泵(10)、蚀刻液收集箱(12)、ORP氧化还原计(13)以及由加热棒(15)和冷却管道(16)组成的温控系统，其特征在于：蚀刻液喷射装置(4)设置在蚀刻箱(2)内并且具有由多个平面组成的呈正多边形柱体的外形，蚀刻液喷射装置(4)的两侧分别设置有一个夹板(6)，夹板(6)上具有呈正多边形分布的基板固定孔阵列，蚀刻基板(3)固定在夹板(6)的基板固定孔阵列的基板固定孔(23)上；蚀刻液从蚀刻液喷射装置(4)的多个平面垂直喷淋到由电机(1)和摆动导杆机构(5)带动的呈多边形空间分布的蚀刻基板(3)上。