[发明专利]一种基于复合电容式结构的材质识别传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711157916.8 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107966481B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 林启敬;吴昊;蒋维乐;田边;张福政;赵曼 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李宏德 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种基于复合电容式结构的材质识别传感器及其制备方法，结构简单，体积小，成本低，能同时测量介电常数和弹性模量进行材质识别。传感器包括两个相对设置的第一极板和第二极板，与第一极板相对的至少两个第一电极，与第二极板相对的至少一个第二电极；制备方法：在基底上涂覆一层增附剂；在增附剂上涂覆一层负性光刻胶；采用掩膜法进行曝光和显影，将掩膜版的图形转移到光刻胶上，得到图形化的光刻胶；图形化的光刻胶表面溅射一层金属薄膜；通过去胶工艺去除增附剂、光刻胶及其表面附着的金属，形成按图形分布的金属电极，从而得到一个极板；重复上述步骤制备另一个极板，两个极板配合后得到基于复合电容式结构的材质识别传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 复合 电容 结构 材质 识别 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于复合电容式结构的材质识别传感器，其特征在于，包括两个相对设置的第一极板(1)和第二极板(2)，在第一极板(1)和第二极板(2)相对的一侧的设置至少两个第一电极(3)，以及在第二极板(2)和第一极板(1)相对的一侧的设置至少一个第二电极(4)；所述的第一电极(3)之间呈间隔设置，且两两作为一组电极对形成平行电极板的电容式结构，构成一组介电常数传感器；用于检测得到第一极板(1)和第二极板(2)之间待测物体的介电常数；所述的第二电极(4)与相对设置的第一电极(3)作为一组电极对形成相对电极板的电容式结构，构成一组弹性模量传感器；用于检测得到第一极板(1)和第二极板(2)之间待测物体的弹性模量。
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