[发明专利]一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置

摘要

本发明属于集成电路芯片制造领域，具体地说是一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，包括盘盖本体、上盖保温固定块、锁紧固定块、磁铁型锁紧器、锁紧销、上盖拆卸块及拆卸组件，盘盖本体上设有上盖保温固定块，上盖保温固定块的一端安装在盘盖本体上，另一端连接有锁紧销；盘盖本体的周围设有安装在晶圆烘烤单元的锁紧固定块，锁紧固定块上安装有磁铁型锁紧器，锁紧销的一端连接于上盖保温固定块上，另一端插入磁铁型锁紧器中，通过磁力固定；盘盖本体上设有上盖拆卸块，拆卸组件在盘盖本体需要拆卸时插入上盖拆卸块与盘盖本体之间的缝隙。本发明可有效提高烘烤单元的维护清洁效率，对提高半导体设备产能与减轻维护人员工作负担起到较大帮助。

主权项

1.一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：包括盘盖本体(1)、上盖保温固定块(2)、锁紧固定块(3)、磁铁型锁紧器(4)、锁紧销(5)、上盖拆卸块(8)及拆卸组件，其中盘盖本体(1)上设有上盖保温固定块(2)，该上盖保温固定块(2)的一端安装在所述盘盖本体(1)上，另一端连接有所述锁紧销(5)；所述盘盖本体(1)的周围设有安装在晶圆烘烤单元的锁紧固定块(3)，该锁紧固定块(3)上安装有所述磁铁型锁紧器(4)，所述锁紧销(5)的一端连接于上盖保温固定块(2)上，另一端插入该磁铁型锁紧器(4)中，通过磁力固定；所述盘盖本体(1)上设有上盖拆卸块(8)，所述拆卸组件在盘盖本体(1)需要拆卸时插入上盖拆卸块(8)与盘盖本体(1)之间的缝隙，克服所述锁紧销(5)与磁铁型锁紧器(4)之间的磁力抬起盘盖本体(1)、上盖保温固定块(2)及锁紧销(5)，该锁紧销(5)在所述盘盖本体(1)拆卸过程中脱离磁铁型锁紧器(4)，进而将盘盖本体(1)移出晶圆烘烤单元。