[发明专利]一种皮秒激光清洗装置

摘要

本发明公开了一种皮秒激光清洗装置，包括控制系统以及水冷系统、腔倒空激光器系统、光学传输系统和凹面镜扫描系统，所述的水冷系统、腔倒空激光器系统和凹面镜扫描系统分别与控制系统连接，腔倒空激光器系统产生的高能量脉冲激光通过光学传输系统传送至凹面镜扫描系统，水冷系统通过冷却水的循环，带走腔倒空激光器系统产生的热量，控制系统对水冷系统的水温和凹面镜扫描系统的扫描线宽、扫描方向及扫描频率进行控制；所述的腔倒空激光器系统包括半导体泵浦激光器、耦合透镜、输入镜、增益介质、薄膜偏振片、普克尔盒以及半导体可饱和吸收镜；本发明整体结构简单，体积小，性能稳定，适用范围广、生产维护容易，具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种皮秒激光清洗装置，其特征在于：包括控制系统（4）以及顺序连接的水冷系统（5）、腔倒空激光器系统（1）、光学传输系统（2）和凹面镜扫描系统（3），所述的水冷系统（5）、腔倒空激光器系统（1）和凹面镜扫描系统（3）分别与控制系统（4）连接，腔倒空激光器系统（1）产生的高能量脉冲激光通过光学传输系统（2）传送至凹面镜扫描系统（3），水冷系统（5）通过冷却水的循环，带走腔倒空激光器系统（1）产生的热量，保证设备正常稳定的运行，控制系统（4）对水冷系统（5）的水温和凹面镜扫描系统（3）的扫描线宽、扫描方向及扫描频率进行控制；所述的腔倒空激光器系统（1）包括半导体泵浦激光器（1.1）、耦合透镜（1.2）、输入镜（1.3）、增益介质（1.4）、薄膜偏振片（1.5）、普克尔盒（1.6）以及半导体可饱和吸收镜（1.7）；所述的光学传输系统（2）包括沿脉冲激光传输路径布置的耦合系统（2.1）、高能光纤（2.2）以及光束整形系统（2.3），所述的耦合系统（2.1）将腔倒空激光器系统（1）输出的脉冲激光耦合进入高能光纤（2.2），高能光纤（2.2）将脉冲激光传输至光束整形系统（2.3），光束整形系统（2.3）将来自高能光纤（2.2）的激光束进行准直并传送给后续的凹面镜扫描系统（3）；所述的凹面镜扫描系统（3）包括凹面反射镜（3.2）和一维振镜系统（3.1），凹面反射镜（3.2）直接将来自光学传输系统（2）的激光束聚焦成点状光斑，一维振镜系统（3.1）将点状光斑沿一个方向来回扫动形成变为长条形脉冲激光能量线。