[发明专利]一种微空气隙光学元件及其制造方法在审
申请号: | 201711160426.3 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN107748403A | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 周东平 | 申请(专利权)人: | 苏州晶鼎鑫光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;G02B7/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区娄*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明揭示了一种微空气隙光学元件,包括两块相对设置的棱镜,两块所述棱镜的相对表面上均通过真空镀膜工艺镀有至少三处金属膜,两块棱镜上的所述金属膜厚度相同且位置、数量一一对应设置;两块所述棱镜上的对应金属膜通过真空加热封接工艺连为一体,以固定两块棱镜的相对位置。本发明还揭示了一种微空气隙光学元件的制造方法。本发明通过真空镀膜工艺在棱镜上设置具有封接性能的金属膜,然后采用真空加热封接工艺使两边的金属膜牢固地封接在一起,进而制得具有空气隙的光学元件,通过精确控制金属膜的厚度实现光学元件空气隙间隙大小的精确控制,具有空气隙间隙大小精度高且间隙大小可以任意调整的优点,适用于任意极薄间隙的光学元件制造。 | ||
搜索关键词: | 一种 空气 光学 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种微空气隙光学元件,其特征在于,包括两块相对设置的棱镜,两块所述棱镜的相对表面上均通过真空镀膜工艺镀有至少三处金属膜,两块棱镜上的所述金属膜厚度相同且位置、数量一一对应设置;两块所述棱镜上的对应金属膜通过真空加热封接工艺连为一体,以固定两块棱镜的相对位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州晶鼎鑫光电科技有限公司,未经苏州晶鼎鑫光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201711160426.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:双盘光学回音壁模式铌酸锂微腔及其制备方法
- 下一篇:电古筝的前岳山结构