[发明专利]一种长晶炉及长晶炉的水冷套在审
| 申请号： | 201711160854.6 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109811400A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种长晶炉及长晶炉的水冷套，所述长晶炉包括炉体，所述炉体上部设置有水冷套，所述水冷套由下至上依次包括第一水冷部分、非水冷部分和第二水冷部分。本发明提供的长晶炉及长晶炉的水冷套，通过三段式结构的水冷套控制晶体缺陷形核和长大过程，热历史活动空间大，充分保证水冷套的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉 水冷套 水冷 三段式结构 活动空间 控制晶体 炉体上部 热历史 非水 炉体 形核 保证 | ||
【主权项】：
1.一种长晶炉，其特征在于，所述长晶炉包括炉体，所述炉体上部设置有水冷套，所述水冷套由下至上依次包括第一水冷部分、非水冷部分和第二水冷部分。
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