[发明专利]显示基板检测设备的机差补偿方法及装置、检测设备有效
| 申请号： | 201711160927.1 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN108007410B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 戚海平 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 11415 北京博思佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 林祥 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示基板检测设备的机差补偿方法及装置、检测设备，该补偿方法包括：获取基础的位置偏差数据，所述基础的位置偏差数据为采用基准检测设备对显示基板上形成的图案进行位置检测生成的；获取各次的位置偏差数据，所述各次的位置偏差数据为采用待调整检测设备对所述显示基板上形成的图案进行多次重复位置检测生成的；根据所述基础的位置偏差数据和各次的位置偏差数据生成位置偏差参考补偿值，以对待调整检测设备在检测中生成的位置偏差数据进行补偿。该方法可以减小检测设备的测量机差，有效改善检测设备的测量结果准确度和有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 检测 设备 补偿 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种显示基板检测设备的机差补偿方法，其特征在于，包括：/n获取基础的位置偏差数据，所述基础的位置偏差数据为采用基准检测设备对显示基板上形成的图案进行位置检测生成的；/n获取各次的位置偏差数据，所述各次的位置偏差数据为采用待调整检测设备对所述显示基板上形成的图案进行多次重复位置检测生成的；/n根据所述基础的位置偏差数据和各次的位置偏差数据生成位置偏差参考补偿值，以对待调整检测设备在检测中生成的位置偏差数据进行补偿；/n所述根据所述基础的位置偏差数据和各次的位置偏差数据生成位置偏差参考补偿值，包括：/n根据所述基础的位置偏差数据和待调整检测设备其中一次检测获取的位置偏差数据生成位置偏差理论补偿值；/n根据待调整检测设备多次重复检测生成的各次的位置偏差数据生成位置偏差重复性补偿值；/n根据所述位置偏差理论补偿值和所述位置偏差重复性补偿值生成位置偏差参考补偿值。/n
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