[发明专利]光学计测装置有效

专利信息
申请号: 201711161577.0 申请日: 2017-11-20
公开(公告)号: CN108507487B 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 水谷浩希;菅孝博;滝政宏章 申请(专利权)人: 欧姆龙株式会社
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马爽;臧建明
地址: 日本京都府京都市下京区*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的光学计测装置不论计测对象物的表面形状如何,均可准确地计测出计测对象物的表面形状。处理部(70、70b)对于与各个芯材(241、242、…、24N)对应的各个反射光,根据反射光来算出光学系统(40)与计测对象物(80)的距离。对于各个反射光,将表示距离的值与阈值进行比较。当在与所有芯材(241、242、…、24N)对应的反射光中,表示距离的值为阈值以上、或表示距离的值小于阈值时,算出所有表示距离的值的平均值。当在与一部分芯材对应的反射光中,表示距离的值为阈值以上,而在与一部分芯材以外的芯材对应的反射光中,表示距离的值小于阈值时,算出阈值以上的表示距离的值的平均值、或小于阈值的表示距离的值的平均值。
搜索关键词: 光学 装置
【主权项】:
1.一种光学计测装置,其特征在于包括:光源;光学系统,相对于来自所述光源的照射光而配置,将所述照射光照射至计测对象物,并接收来自所述计测对象物的计测面的反射光;至少一个分光器,将由所述光学系统所接收的所述反射光分离为各波长成分;受光部,与所述分光器的分光方向对应地配置有多个受光元件;导光部,包含多个芯材,将所述光源及所述光学系统、以及所述光学系统及所述分光器予以光学连接;以及处理部,所述处理部对于与各个所述芯材对应的各个所述反射光,根据所述反射光来算出所述光学系统与所述计测对象物的距离,对于各个所述反射光,将所述表示距离的值与阈值进行比较,当在与所有芯材对应的所述反射光中,所述表示距离的值为所述阈值以上、或所述表示距离的值小于所述阈值时,算出所有表示距离的值的平均值,当在与一部分芯材对应的所述反射光中,所述表示距离的值为所述阈值以上,而在与所述一部分芯材以外的芯材对应的所述反射光中,所述表示距离的值小于所述阈值时,算出所述阈值以上的表示距离的值的平均值、或小于所述阈值的表示距离的值的平均值。
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