[发明专利]光学计测装置有效
申请号: | 201711161577.0 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN108507487B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 水谷浩希;菅孝博;滝政宏章 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都市下京区*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的光学计测装置不论计测对象物的表面形状如何,均可准确地计测出计测对象物的表面形状。处理部(70、70b)对于与各个芯材(241、242、…、24N)对应的各个反射光,根据反射光来算出光学系统(40)与计测对象物(80)的距离。对于各个反射光,将表示距离的值与阈值进行比较。当在与所有芯材(241、242、…、24N)对应的反射光中,表示距离的值为阈值以上、或表示距离的值小于阈值时,算出所有表示距离的值的平均值。当在与一部分芯材对应的反射光中,表示距离的值为阈值以上,而在与一部分芯材以外的芯材对应的反射光中,表示距离的值小于阈值时,算出阈值以上的表示距离的值的平均值、或小于阈值的表示距离的值的平均值。 | ||
搜索关键词: | 光学 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光学计测装置,其特征在于包括:光源;光学系统,相对于来自所述光源的照射光而配置,将所述照射光照射至计测对象物,并接收来自所述计测对象物的计测面的反射光;至少一个分光器,将由所述光学系统所接收的所述反射光分离为各波长成分;受光部,与所述分光器的分光方向对应地配置有多个受光元件;导光部,包含多个芯材,将所述光源及所述光学系统、以及所述光学系统及所述分光器予以光学连接;以及处理部,所述处理部对于与各个所述芯材对应的各个所述反射光,根据所述反射光来算出所述光学系统与所述计测对象物的距离,对于各个所述反射光,将所述表示距离的值与阈值进行比较,当在与所有芯材对应的所述反射光中,所述表示距离的值为所述阈值以上、或所述表示距离的值小于所述阈值时,算出所有表示距离的值的平均值,当在与一部分芯材对应的所述反射光中,所述表示距离的值为所述阈值以上,而在与所述一部分芯材以外的芯材对应的所述反射光中,所述表示距离的值小于所述阈值时,算出所述阈值以上的表示距离的值的平均值、或小于所述阈值的表示距离的值的平均值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧姆龙株式会社,未经欧姆龙株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201711161577.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。