[发明专利]一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置有效
| 申请号： | 201711165921.3 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109813214B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 颜传祥;周志伟;马国东;尹建刚;谢文胜;胡雄雄;朱洪涛;洪熔;朱晓枫;黄政;吴林龙;陈才伟;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 | 代理人： | 汪琳琳 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置。所述测量方法先将十字运动平台固定在底座上，将玻璃板固定在十字运动平台上，并调节玻璃板的角度，使玻璃板上的网格与十字运动平台的运动方向一致；将相机和镜头也设置在底座上，镜头上设置有光源，并调节光源的亮度，记录十字运动平台基准位置时，距离相机中心点最近的网格交点与相机中心点在X方向和Y方向上的初始偏移量；移动十字运动平台，并遍历需要测量的所有位置，记录下每个位置对应的网格交点与相机中心点在X方向和Y方向上的偏移量；将得到所有位置的偏移量分别减去初始偏移量，就得到每个位置的二维定位误差。本发明方便快捷，操作简单，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 测量 十字 运动 平台 二维 定位 误差 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法，其特征在于：该测量方法的具体步骤包括如下：步骤S1：将十字运动平台(3)固定在底座(1)上，将玻璃板(5)固定在十字运动平台(3)上，并调节玻璃板(5)的角度，使玻璃板(5)上的网格与十字运动平台(3)的运动方向一致；步骤S2：将相机(8)和镜头(7)也设置在底座(1)上，并位于玻璃板(5)的上方；步骤S3：镜头(7)上设置光源(6)，并调节光源(6)的亮度，使玻璃板(5)上的网格能够在相机(8)上清晰成像；步骤S4：通过玻璃板(5)上已知的网格大小计算出相机(8)每像素对应的实际距离记为标定值L；步骤S5：记录十字运动平台(3)基准位置时，距离相机(8)中心点最近的网格交点与相机(8)中心点在X方向和Y方向上的初始偏移量，分别记为X1和Y1；步骤S6：移动十字运动平台(3)，并遍历需要测量的所有位置，记录下每个位置对应的网格交点与相机(8)中心点在X方向和Y方向上的偏移量，分别记为X2和Y2；步骤S7：将步骤S6得到所有位置的偏移量分别减去初始偏移量即(X2‑X1，Y2‑Y1)，再根据步骤S4得到的标定值L进行换算，就得到每个位置的二维定位误差。
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