[发明专利]一种高效制备高纯砷化铝的方法在审
申请号: | 201711168246.X | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN107902695A | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 陈迁;张丽梅;李畅;黄文伟 | 申请(专利权)人: | 红河砷业有限责任公司 |
主分类号: | C01G28/00 | 分类号: | C01G28/00 |
代理公司: | 昆明大百科专利事务所53106 | 代理人: | 李云 |
地址: | 661007 云南省*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 一种高效制备高纯砷化铝的方法,采用气相沉积法,在氩气保护下分别将三氯化铝和三氯化砷在挥发室中加热挥发成蒸汽,通过喷嘴喷入反应室反应,气相沉积生成砷化铝晶体。本发明方法所用设备投资小,反应控制条件简单易控,可高效制备高纯砷化铝产品。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 制备 高纯 砷化铝 方法 | ||
【主权项】:
一种高效制备高纯砷化铝的方法,其特征在于,采用气相沉积法,在氩气保护下分别将三氯化铝和三氯化砷在挥发室中加热挥发成蒸汽,通过喷嘴喷入反应室反应,气相沉积生成砷化铝晶体;具体步骤如下:(1)以氩气为保护气体,将三氯化铝和三氯化砷按摩尔质量比为1:1~1.5:1取料,分别置于一个挥发室中,300~900℃条件下挥发0.5h~12h,使两种物料都处于蒸汽状态;(2)通过喷嘴将两个挥发室中的三氯化铝和三氯化砷蒸汽同时喷入一个反应室内,在300~900℃条件下反应2h~5h,气相沉积得到沉积物;(3)将所得沉积物在反应室中加热挥发2h~12h,加热温度为300~900℃、压强为0.5~100KPa,除去残余的氯,冷却,得到纯度大于99.9%的橘黄色的晶体砷化铝。
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