[发明专利]悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器在审
| 申请号： | 201711168782.X | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108061563A | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 单华锋;曹辉;陈学刚;於群;王家冬;曹凯敏;郁源;王哲琦 | 申请（专利权）人： | 麒盛科技股份有限公司;浙江清华长三角研究院 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01N27/00 |
| 代理公司： | 上海汉盛律师事务所 31316 | 代理人： | 郭海锋 |
| 地址： | 314016 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，包括外壳、横梁支架、压电薄膜和信号处理电路，外壳是由上盖和下盖组成的密封空间，横梁支架设于上盖和下盖之间，横梁支架一端通过一个固定支点与所述下盖固定连接，另一端为悬空状态，上盖上设有一个触点，该触点与横梁支架的悬空端相接触，用于压迫横梁支架的悬空端，压电薄膜紧贴于横梁支架朝向上盖的一面。其优点表现为：采用上下盖之间粘合形成封闭外壳，通过在上盖上设计一触点压迫半悬空的横梁支架与压电薄膜，使压电薄膜只受到上盖一侧的振动压力，可大大减少外界其他振动信号对压电薄膜的干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 压电 薄膜 微弱 信号 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，包括外壳、横梁支架、压电薄膜和信号处理电路，其特征在于，所述外壳是由上盖和下盖组成的密封空间，所述横梁支架设于上盖和下盖之间，所述横梁支架一端通过一个固定支点与所述下盖固定连接，另一端为悬空状态，所述上盖上设有触点，触点与横梁支架的悬空端相接触，用于压迫横梁支架的悬空端，所述压电薄膜紧贴横梁支架。
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