[发明专利]一种镜片缺陷检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种镜片缺陷检测装置及方法，通过使用振镜扫描检测，结合机器视觉控制可以实时反馈检测过程，并通过振镜控制光源对镜片表面的各个点位置进行扫描式检测；原路返回的样品信号光与参考臂原路返回的参考信号光干涉后形成干涉光信号后，对干涉光信号进行二维图像重建，提取重建后的镜片平面信号变化曲线，与标准镜片曲线进行比较，就可以知道镜片是否存在缺陷；整个镜片缺陷检测装置的结构设置合理，满足使用要求。

主权项

一种镜片缺陷检测装置，其特征在于，包括：光源；光纤耦合器；用于获得参考信号光束的参考臂；用于获得待测镜片的样品信号光束的的样品臂；用于将参考信号光束和镜片样品信号光束干涉后形成的干涉光信号进行二维图像重建，提取重建后的镜片平面信号变化曲线，将重建的镜片平面信号变化曲线与标准镜片曲线进行比较，判断待测镜片是否存在缺陷的控制器；所述光源、参考臂、样品臂、控制器分别与光纤耦合器连接：光源发出的光入射到光纤耦合器，经过光纤耦合器分为分成参考光和样品光两束光源，参考光经过参考臂后形成参考信号光束，参考信号光束沿原光路返回至光纤耦合器，样品光经过样品臂控制对待测镜片表面的各个点位置进行扫描式检测，获得待测镜片不同位置的样品信号光束，样品信号光束沿原光路返回至光纤耦合器，参考信号光束和样品信号光束在光纤耦合器中发生干涉，形成干涉光信号，控制器获得干涉光信号，控制器将干涉光信号进行二维图像重建，提取重建后的镜片平面信号变化曲线，将重建的镜片平面信号变化曲线与标准镜片曲线进行比较，判断待测镜片是否存在缺陷。