[发明专利]用于DMD数字光刻系统的匀光元件及其设计方法有效
| 申请号： | 201711171865.4 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN107942520B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 刘华;刘中元;李乾坤;李金环 | 申请（专利权）人： | 东北师范大学 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春市吉利专利事务所(普通合伙) 22206 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 130024 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 用于DMD数字光刻系统的匀光元件及其设计方法，属于数字光刻技术领域，包括一个以上的子透镜，所述子透镜为长宽比为1:2的方形，子透镜的前表面为平面，后表面为自由曲面。本发明光能利用率高、匀光效果好、体积小、便于集成，对每一块子透镜单独设计，采用面积大小以及位置随机排列的方式，打破传统微透镜阵列的周期性，对相干光源的匀光效果大大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 dmd 数字 光刻 系统 元件 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
用于DMD数字光刻系统的匀光元件，其特征是：包括一个以上的子透镜，所述子透镜为长宽比为1:2的方形，子透镜的前表面为平面，后表面为自由曲面。
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