[发明专利]一种工件面形测量系统及方法在审
| 申请号： | 201711172671.6 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108037730A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张志宇;李兴昶;熊玲;罗霄;李锐钢;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G05B19/19 | 分类号： | G05B19/19;G01B7/28 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种工件面形测量系统及方法，电容传感器测量稳定性高，可以很好实现线性测量而无需对数据进行复杂的线性校正；镜面油污等杂质对电容传感器没有影响，不会影响测量结果，同时，电容传感器工作表面是圆形区域，具有一定的采样面积，可以均化一次采样区域内局部大偏离误差，使得测量结果中的偶发高点降低，获得合理的面形峰谷值，因此非常有利于面形误差测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种工件面形测量系统，其特征在于，包括电容传感器、与所述电容传感器电连接的数据采集单元、用于调整所述电容传感器位置的调节机构、用于承载工件的主轴承载台，预先规划所述电容传感器的测量轨迹，通过所述调节机构调整所述电容传感器的中心线与所述主轴承载台的轴线重合，在进行测量时，根据所述测量轨迹对所述主轴承载台上的工件进行面形测量。
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