[发明专利]一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法，敏感结构包括两侧设有键合锚点的弹性框架，弹性框架上设有轴对称的通孔区域且其对称轴线处设有“H”型支撑梁，“H”型支撑梁的两侧各设有两个轴对称的两个敏感质量块，且敏感质量块布置于通孔区域内且一侧通过联接梁与“H”型支撑梁相连；制造方法包括采用干湿结合在单个硅片上制备敏感结构。本发明的轴对称硅微机械陀螺敏感结构实现了结构的完全轴对称分布，降低结构损耗，减小应力集中，降低运动耦合，提高结构的机械灵敏度；本发明制造方法具有加工工艺简单、加工质量高、结构鲁棒性好、稳定性好、应用范围广等优点。

主权项

1.一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构，其特征在于：包括采用硅片制成的弹性框架（1），所述弹性框架（1）的两侧设有对称布置的键合锚点（2），所述弹性框架（1）上设有轴对称的通孔区域、且通孔区域的对称轴线处设有“H”型支撑梁（3），所述“H”型支撑梁（3）的两侧各设有两个相对“H”型支撑梁（3）呈轴对称的两个敏感质量块（4），且所述敏感质量块（4）布置于通孔区域内且一侧通过联接梁（5）与“H”型支撑梁（3）相连。