[发明专利]应用于光刻胶收集杯的光刻胶清洗装置和清洗方法在审
| 申请号： | 201711173572.X | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109807141A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093;B08B3/02;B08B3/08;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 张臻贤;武晨燕 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于光刻胶涂布设备的光刻胶清洗装置和清洗方法，以及应用其的光刻胶涂布设备，其中，光刻胶清洗装置包括至少一个设置于光刻胶收集杯的内壁顶部第一清洗喷嘴，用于向光刻胶收集杯的内壁喷出清洗液。本发明实施例的光刻胶清洗装置和光刻胶涂布设备可以在不拆卸光刻胶收集杯的情况下对光刻胶进行清洗，并且可以清洗全部的残留光刻胶，包括残留在光刻胶收集杯的内壁顶部的光刻胶，从而避免光刻胶反溅问题，提高晶圆的良率，降低光刻时间和成本，提供工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻胶 收集杯 清洗装置 光刻胶涂布 清洗 内壁顶部 残留 应用 工作效率 清洗喷嘴 清洗液 拆卸 光刻 晶圆 良率 内壁 喷出 | ||
【主权项】：
1.一种应用于光刻胶收集杯的光刻胶清洗装置，其特征在于，包括至少一个第一清洗喷嘴，所述第一清洗喷嘴设置于光刻胶收集杯的内壁顶部，所述第一清洗喷嘴用于向所述光刻胶收集杯的内壁喷出清洗液。
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