[发明专利]一种偏置器及制作方法

摘要

本发明公开了一种偏置器及制作方法，其中，偏置器包括：晶圆基板、电感部分、电容部分及第一绝缘层，电感部分、电容部分设置于晶圆基板上，电感部分为锥形电感；第一绝缘层包覆电感部分及电容部分；在第一绝缘层设有电极接口，电极接口包括：射频接口、直流偏置接口以及射频和直流接口；直流偏置接口连接电感部分的第一端，射频和直流接口连接电感部分的第二端，电容部分的第一端连接于射频和直流接口与电感部分的第一端之间，电容部分的第二端连接射频接口。本发明可实现实现芯片偏置器的快速大规模生产以及与其他相关器件进行芯片集成，采用锥形电感可以实现减小寄生电容，可实现制备平坦宽带偏置器器件。

主权项

一种偏置器，其特征在于，包括：晶圆基板、电感部分、电容部分及第一绝缘层，所述电感部分、电容部分设置于晶圆基板上，所述电感部分为锥形电感；所述第一绝缘层包覆所述电感部分及电容部分；在所述第一绝缘层设有电极接口，所述电极接口包括：射频接口、直流偏置接口以及射频和直流接口；所述直流偏置接口连接所述电感部分的第一端，所述射频和直流接口连接所述电感部分的第二端，所述电容部分的第一端连接于所述射频和直流接口与所述电感部分的第一端之间，所述电容部分的第二端连接所述射频接口。