[发明专利]具有低电阻布线的MEMS构件和用于制造这种MEMS构件的方法有效
| 申请号： | 201711180689.0 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108083224B | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | C·谢林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS构件，具有第一衬底和第二衬底，该第一衬底具有在第一侧上的至少一个第一绝缘层和至少一个第一金属化部，该第二衬底具有在第二侧上的至少一个第二绝缘层和至少一个第二金属化部，其中，第二衬底具有微机械功能元件，该微机械功能元件与第二金属化部导电连接。本发明的核心在于，第一侧和第二侧彼此贴靠地布置，其中，第一绝缘和第二绝缘层相互连接，其中，第一金属化部和第二金属化部相互连接。本发明也涉及一种用于制造MEMS构件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电阻 布线 mems 构件 用于 制造 这种 方法 | ||
【主权项】：
1.MEMS构件，具有第一衬底(100)和第二衬底(200)，该第一衬底具有在第一侧(110)上的至少一个第一绝缘层(115)和至少一个第一金属化部(120)，该第二衬底具有在第二侧(210)上的至少一个第二绝缘层(215)和至少一个第二金属化部(220)，其中，所述第二衬底(200)具有微机械功能元件(240)，该微机械功能元件与所述第二金属化部(220)导电连接，其特征在于，所述第一侧(110)和所述第二侧(210)彼此贴靠地布置，其中，所述第一绝缘层(115)和所述第二绝缘层(215)相互连接，其中，所述第一金属化部(120)和所述第二金属化部(220)相互连接。
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