[发明专利]用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201711181073.5 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109830418B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 赵康宁;魏景峰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J25/52 | 分类号： | H01J25/52;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备。该扫描机构包括：导轨，导轨上设置有限位件；移动结构，设置在导轨上且能沿导轨往复移动；驱动组件，可转动地设置在导轨上，用于驱动移动结构在导轨上移动至第一预设位置或第二预设位置后再沿靶材中心轴转动，以使磁控管对应于靶材的边缘区域或中央区域后再沿靶材中心轴转动。因此，本发明的扫描机构，在实现磁控管不同位置的切换时，运动轨迹简单，易于控制，且可靠性较高，同时，还可以适用于多种类型的磁控管来进行工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 驱动 磁控管 扫描 机构 磁控源 磁控溅射 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于驱动磁控管的扫描机构，其特征在于，包括：导轨，所述导轨上设置有限位件；移动结构，设置在所述导轨上且能沿所述导轨往复移动；驱动组件，可转动地设置在所述导轨上，用于驱动所述移动结构在所述导轨上移动至第一预设位置或第二预设位置后再沿靶材中心轴转动，以使磁控管对应于靶材的边缘区域或中央区域后再沿所述靶材中心轴转动。
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