[发明专利]栅极线短接位置检测方法有效
| 申请号： | 201711183488.6 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN107993690B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 宋哲;李品欢;李桂花;仝金雨 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种栅极线短接位置检测方法，该方法包括：在待测对象中选择相邻的两条栅极线；从所述两条栅极线的一侧测试所述两条栅极线之间的电参数，得到第一电参数；根据电参数与栅极线长度的对应关系以及所述第一电参数的大小，估测所述两条栅极线的短接位置。相较于现有技术，本发明不需要破坏层叠区域即可估测出栅极线的短接位置，可以有效提高短接位置的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 栅极 线短接 位置 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种栅极线短接位置检测方法，其特征在于，包括：在待测对象中选择相邻的两条栅极线；从所述两条栅极线的一侧测试所述两条栅极线之间的电参数，得到第一电参数；根据电参数与栅极线长度的对应关系以及所述第一电参数的大小，估测所述两条栅极线的短接位置。
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