[发明专利]一种石墨舟对中装置在审
| 申请号： | 201711184475.0 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108039336A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 夏久龙;周明祥;王向阳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是一种石墨舟对中装置，包括石墨舟盖板，石墨舟底盘，石墨舟盖板对中模块，石墨舟底盘对中模块和底座；其中，石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模固定于底座上，石墨舟盖板盖于石墨舟底盘上，石墨舟底盘通过石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块对中于底座上。优点：1、在不增加机械手步骤降低产能的情况下完成石墨舟的对中。2、解决了由于设备老化、不稳定导致石墨舟位置变动导致的晶片报废的情况。3、提高了石墨舟在腔室内位置的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种石墨舟对中装置，其特征是包括石墨舟盖板，石墨舟底盘，石墨舟盖板对中模块，石墨舟底盘对中模块和底座；其中，石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块固定于底座上，石墨舟盖板盖于石墨舟底盘上，石墨舟底盘通过石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块对中于底座的中央。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所，未经中国电子科技集团公司第五十五研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711184475.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有良好电磁屏蔽性能的电缆
- 下一篇：一种采用膜技术处理氨氮废水的工艺
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
