[发明专利]一种碳化钛靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201711188416.0 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108103460B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;梁俊才;李建奎;张欠男;魏铁峰 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 11387 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘春成;荣红颖<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碳化钛靶材及其制备方法，该方法为：首先将纯碳化钛原料粉进行筛分处理，得到粒度均匀的粉末，之后进行配碳处理，得到成分合适的混合原料；然后均匀填充到模具中，在真空条件下进行热压烧结处理，经冷却后，脱模得到烧结坯；最后将烧结坯进行机加工得到符合尺寸和表面质量要求的所述碳化钛靶材。该方法工艺简单、成形效果较好，利于工业化大规模生产；靶材无任何粘结相成分，晶粒均匀细小，致密度可达到99％以上，纯度在99.9％以上；该靶材改善了溅射过程中的打弧放电现象，制备的膜层表面缺陷较少，涂层更为致密，可作为制备碳化钛涂层，提高涂层力学性能以及摩擦学性能，特别适用于加工铝及铝合金等软性金属材料。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 碳化钛 制备 烧结坯 致密 表面质量要求 软性金属材料 涂层力学性能 摩擦学性能 碳化钛涂层 晶粒 成形效果 放电现象 混合原料 均匀填充 粒度均匀 膜层表面 热压烧结 筛分处理 真空条件 机加工 原料粉 粘结相 铝合金 打弧 溅射 配碳 脱模 模具 冷却 加工 | ||
【主权项】：
1.一种碳化钛靶材的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：/n步骤一：将碳化钛原料粉进行筛分处理，得到粒度均匀的碳化钛粉末，所述筛分处理为过80-200目筛网，取筛下物；所述碳化钛原料粉的粉末费氏粒度为1-15μm；/n步骤二：将所述粒度均匀的碳化钛粉末进行配碳处理，得到混合原料粉末；所述配碳处理是指向所述粒度均匀的碳化钛粉末中加入碳源并混合均匀，所述碳源的加入量为所述粒度均匀的碳化钛粉末质量的0.1-3％或4％；/n步骤三，将所述混合原料粉末均匀地填充到模具中，然后在真空条件下进行热压烧结处理，经冷却、脱模得到烧结坯；所述热压烧结处理的烧结温度为1800-2100℃，压制压力为35-38MPa，保温保压时间为75-90min或100min；/n步骤四、将所述烧结坯进行机加工得到符合尺寸和表面质量要求的所述碳化钛靶材。/n
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