[发明专利]一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液

摘要

本发明公布了一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，包括以下重量百分比的组合物纳米二氧化硅1.5％～2.5％；硫酸镁1.2％～1.6％；氟硼酸钠0.5％～1.6％；硅酸钠2.5％～3.3％；非质子性溶剂1.5％～2.3％；稳定剂0.5％～1.5％；消泡剂3.5％～5.6％；其余为蒸馏水。本发明通过在原有工艺的基础上新加入了纳米二氧化硅，不仅能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻，显著提高铬金属膜的蚀刻速度，具有蚀刻速度可控性，有效抑制抗蚀保护层的劣化，得到表面平坦光滑的铬金属膜配线，具有重要的应用价值。

主权项

一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：纳米二氧化硅 1.5％～2.5％；硫酸镁 1.2％～1.6％；氟硼酸钠 0.5％～1.6％；硅酸钠 2.5％～3.3％；非质子性溶剂 1.5％～2.3％；稳定剂 0.5％～1.5％；消泡剂 3.5％～5.6％；其余为蒸馏水。