[发明专利]溅射靶-背衬板接合体有效
| 申请号： | 201711189275.4 | 申请日： | 2015-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN108220892B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 高村博;铃木了 | 申请（专利权）人： | 捷客斯金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及溅射靶‑背衬板接合体。一种溅射靶‑背衬板接合体，其为使用焊接材料将溅射靶和背衬板接合而得到的溅射靶‑背衬板接合体，其特征在于，将溅射靶和背衬板之间的焊接材料的外周用熔点为600～3500℃且轴向截面形状为圆形、椭圆形或矩形的线状材料覆盖。本发明提供有效地抑制在使用焊接材料接合溅射靶和背衬板的情况下的由焊接材料在溅射靶和背衬板之间露出引起的电弧放电产生、粉粒产生的技术。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 背衬板 接合 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶‑背衬板接合体，其为使用焊接材料将溅射靶和背衬板接合而得到的溅射靶‑背衬板接合体，其特征在于，将溅射靶和背衬板之间的焊接材料的外周用熔点为600℃～3500℃的线状材料覆盖，该线状材料的厚度相对于溅射靶和背衬板之间的焊接材料的厚度为(线状材料厚度)/(焊接材料厚度)＝100％～130％，该线状材料插入在溅射靶和背衬板之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于捷客斯金属株式会社，未经捷客斯金属株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711189275.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
